Naher Fluidmeniskusverteiler
EP1582269
Art B1
17. Januar 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1582269
- Aktenzeichen
- EP05251902
- Anmeldetag
- 29. März 2005
- Veröffentlichung
- 17. Januar 2007
- Erteilung
- 17. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B05D3/12H01L21/00H01L21/306B05D1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
795
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte