Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats mittels dielektrischer Sperrentladung

EP1582270 Art A1 5. Oktober 2005

Anmelder: Vlaamse Instelling voor Technologisch Onderzoek N.V. (VITO), Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Vlaamse Instelling voor Technologisch Onderzoek, Fraunhofer Gesellschaft 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1582270
Aktenzeichen
EP04007735
Anmeldetag
31. März 2004
Veröffentlichung
5. Oktober 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B05D3/14B05D7/24H05H1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Vlaamse Instelling voor Technologisch Onderzoek N.V. (VITO)
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Vlaamse Instelling voor Technologisch Onderzoek
Fraunhofer Gesellschaft
Land
🇧🇪 Belgien
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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