Schleusenanordnung für eine Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zum Betreiben von dieser

EP1582607 Art B2 6. Juli 2016

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1582607
Aktenzeichen: EP04007820
Anmeldetag: 31. März 2004
Veröffentlichung: 6. Juli 2016
Erteilung: 6. Juli 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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