Vakuumbehandlungsanlage mit Umsetzbarem Wartungsventil

EP1582832 Art B1 18. April 2007

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1582832
Aktenzeichen: EP04006113
Anmeldetag: 15. März 2004
Veröffentlichung: 18. April 2007
Erteilung: 18. April 2007
Rechtsraum: EP
IPC: F27B5/00F27B9/04F27B9/30C03C17/00C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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