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EP1582852 Art A3 27. Februar 2008

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1582852
Aktenzeichen
EP05006428
Anmeldetag
23. März 2005
Veröffentlichung
27. Februar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G01L9/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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