Gemusterter Drahtgitter-Polarisator

EP1582894 Art B1 5. Oktober 2011

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1582894
Aktenzeichen
EP05006957
Anmeldetag
30. März 2005
Veröffentlichung
5. Oktober 2011
Erteilung
5. Oktober 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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