Verfahren zur Abscheidung von einem Gruppe III-Nitrid-Material auf ein Siliziumsubstrat und entsprechende Vorrichtung
EP1583139
Art A1
5. Oktober 2005
Anmelder: IMEC, Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1583139
- Aktenzeichen
- EP04447087
- Anmeldetag
- 2. April 2004
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20C30B29/40C30B25/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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