Methode zur Herstellung von selbst-justierten Source/Drain-Kontakten in einem Doppel-Gate-FET unter kontrollierter Herstellung eines dünnen Si- oder Nicht-Si-Kanals

EP1583143 Art B1 5. Oktober 2011

Anmelder: IMEC, NXP B.V., Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum, Koninklijke Philips Electronics, N.V. 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1583143
Aktenzeichen
EP05003842
Anmeldetag
23. Februar 2005
Veröffentlichung
5. Oktober 2011
Erteilung
5. Oktober 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/336H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
NXP B.V.
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum
Koninklijke Philips Electronics, N.V.
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.

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