Verfahren zur Herstellung eines Soi-Wafers und Soi-Wafer

EP1583145 Art A1 5. Oktober 2005

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1583145
Aktenzeichen
EP03768276
Anmeldetag
25. Dezember 2003
Veröffentlichung
5. Oktober 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/76H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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