Verfahren und Vorrichtung zur Entfernung Toxischer Gasbestandteile aus dem Ablauf eines Halbleiterherstellungsverfahrens
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1583600
- Aktenzeichen
- EP03790157
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 12. Oktober 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/02// B01D53/04B01D53/40B01D53/46
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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