Zweistufiges Ätzverfahren zum Herstellen einer Integrierten Schaltungsanordnung, insbesondere mit Kondensatoranordnung
EP1584103
Art B1
1. Februar 2017
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1584103
- Aktenzeichen
- EP03815077
- Anmeldetag
- 31. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2017
- Erteilung
- 1. Februar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/308H01L21/768H01L23/522H01L23/532H01L23/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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Vertreten von
Kindermann, Peter
Baldham, Deutschland
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Karl, Frank
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