Sputtertarget aus Kupferlegierung und Halbleiterelementverdrahtung

EP1584706 Art B1 16. Februar 2011

Anmelder: Nippon Mining & Metals Co., Ltd., Nikko Materials Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1584706
Aktenzeichen
EP03756653
Anmeldetag
16. Oktober 2003
Veröffentlichung
16. Februar 2011
Erteilung
16. Februar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C22C9/01C22C9/02H01L21/28H01L21/285H01L21/3205
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Nikko Materials Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nippon Mining & Metals

Nippon Mining & Metals war ein japanisches Unternehmen für Metallverarbeitung und Halbleitermaterialien, heute Teil von JX Nippon Mining & Metals. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Fertigungs- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2010 und betreffen unter anderem Kupferfolienverbundstoffe.

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