Industrielles Mikroauftragesystem mit Auftrageverteilung zur Verminderung der Auswirkung von Tröpfchenausrichtungstoleranzen und -Fehlern sowie Tröpfchenvolumentoleranzen und -Fehlern
EP1585604
Art B1
4. Januar 2012
Anmelder: ULVAC, INC., Litrex Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1585604
- Aktenzeichen
- EP02795705
- Anmeldetag
- 27. November 2002
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2012
- Erteilung
- 4. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B41J2/12B41J29/38B05D5/06B05D5/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ULVAC, INC.
Litrex Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
Somnier, Jean-Louis
Levallois-Perret, Frankreich
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