Verfahren und Vorrichtung zur Entfernung von Verunreinigungen sowie Belichtungsverfahren und -Vorrichtung

EP1586386 Art A1 19. Oktober 2005

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1586386
Aktenzeichen: EP03774200
Anmeldetag: 25. November 2003
Veröffentlichung: 19. Oktober 2005
Rechtsraum: EP
IPC: B08B3/08G03F7/20G02B3/00G03F7/22H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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