Bauteil für Filmbildungsvorrichtung und Verfahren zum Waschendes Bauteils

EP1586673 Art B1 17. April 2013

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1586673
Aktenzeichen
EP04704359
Anmeldetag
22. Januar 2004
Veröffentlichung
17. April 2013
Erteilung
17. April 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/00C23C16/00B08B3/08C23C16/44H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Einsel, Martin Braunschweig, Deutschland
354
Patente gesamt
34
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Verpackungs- & Fördertechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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