Verfahren zur Herstellung einer optischen Komponente and optisches System, das diese verwendet

EP1586923 Art A3 4. Januar 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1586923
Aktenzeichen: EP05007675
Anmeldetag: 7. April 2005
Veröffentlichung: 4. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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