Dünne Metallschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung, dielektrischer Kondensator und dessen Herstellungsverfahren, und Halbleiterspeicheranordung

EP1587146 Art A3 30. Mai 2007

Anmelder: Seiko Epson Corporation, SEIKO EPSON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1587146
Aktenzeichen
EP05008277
Anmeldetag
15. April 2005
Veröffentlichung
30. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3205H01L21/316H01L27/115H01L29/92H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Seiko Epson Corporation
SEIKO EPSON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Epson

Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.

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