Halbleiterherstellverfahren zur Herstellung Kleiner Strukturelemente

EP1588219 Art A2 26. Oktober 2005

Anmelder: Freescale Semiconductor Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1588219
Aktenzeichen
EP04703010
Anmeldetag
16. Januar 2004
Veröffentlichung
26. Oktober 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G03F7/36H01L21/3065H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Freescale Semiconductor Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Freescale Semiconductor

Ehemaliger US-amerikanischer Halbleiterhersteller, hervorgegangen aus einem Spin-off von Motorola, mit Schwerpunkt auf Mikrocontrollern und eingebetteten Prozessoren. Seit 2015 Teil von NXP Semiconductors.

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