CMP Polierkissen, dessen Herstellung und Poliermethode

EP1588803 Art A1 26. Oktober 2005

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1588803
Aktenzeichen: EP05008645
Anmeldetag: 20. April 2005
Veröffentlichung: 26. Oktober 2005
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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