Plasmareaktor mit Schraubenförmigen Elektroden

EP1590826 Art B1 24. August 2011

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1590826
Aktenzeichen: EP03790426
Anmeldetag: 9. Dezember 2003
Veröffentlichung: 24. August 2011
Erteilung: 24. August 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C16/26C23C16/509C23C16/54C03C25/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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