Verfahren und Vorrichtung zum Verwenden einer Beschichtung Zumerweiterten Halten eines Halbleitersubstrats Während Hochdruckverarbeitung
EP1590827
Art A2
2. November 2005
Anmelder: Tokyo Electron Ltd., Supercritical Systems Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1590827
- Aktenzeichen
- EP04708980
- Anmeldetag
- 6. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 2. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/68H01J37/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tokyo Electron Ltd.
Supercritical Systems Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
23.304
Patente gesamt
34
Fachgebiete
36
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
38.880
Patente gesamt
25
Patentanwälte
2
Standorte