Kissen zum chemisch-mechanischen Polieren, Herstellungsverfahren dafür und chemisch-mechanisches Polierverfahren für Halbleiterwafer

EP1591201 Art B1 15. November 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1591201
Aktenzeichen: EP05009217
Anmeldetag: 27. April 2005
Veröffentlichung: 15. November 2006
Erteilung: 15. November 2006
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/04B24D18/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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