Verfahren zum Beschichten von Substraten in Inline-Anlagen
Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1591557
- Aktenzeichen
- EP04023123
- Anmeldetag
- 29. September 2004
- Veröffentlichung
- 16. April 2008
- Erteilung
- 16. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34C23C14/54C23C14/56C23C14/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials GmbH & Co. KG
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Applied Films GmbH & Co. KG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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