Verfahren zur Abscheidung einer Dünnschicht auf einer oxidierten Oberflächenschicht eines Substrats
EP1591558
Art B8
19. September 2007
Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1591558
- Aktenzeichen
- EP05354017
- Anmeldetag
- 8. April 2005
- Veröffentlichung
- 19. September 2007
- Erteilung
- 19. September 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Jouvray, Marie-Andrée
Grenoble, Frankreich
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Fachgebiete
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