Siliciumhalbleitersubstrat und Verfahren zu Seiner Herstellung
EP1592045
Art A1
2. November 2005
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Ohmi, Tadahiro, OHMI, Tadahiro, Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1592045
- Aktenzeichen
- EP04706361
- Anmeldetag
- 29. Januar 2004
- Veröffentlichung
- 2. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L29/78
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Ohmi, Tadahiro
OHMI, Tadahiro
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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