Verfahren und Struktur für Verbesserte Steuerung der Waferkrümmung
EP1592642
Art A2
9. November 2005
Anmelder: Honeywell International Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1592642
- Aktenzeichen
- EP04700193
- Anmeldetag
- 5. Januar 2004
- Veröffentlichung
- 9. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Honeywell International Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Honeywell
US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.
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Vertreten von
Haley, Stephen
London, Großbritannien
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