Vakuumabscheidungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Vakuumabgeschiedenem Film

EP1593754 Art B1 23. Mai 2018

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd., Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1593754
Aktenzeichen: EP03782915
Anmeldetag: 26. Dezember 2003
Veröffentlichung: 23. Mai 2018
Erteilung: 23. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Toppan Printing Co., Ltd.
Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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