Wärmebehandlungssystem

EP1594145 Art B1 27. Juli 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Futek Holdings, LLC, Futek Furnace Inc., FFK, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1594145
Aktenzeichen: EP04708855
Anmeldetag: 6. Februar 2004
Veröffentlichung: 27. Juli 2016
Erteilung: 27. Juli 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01F41/18H01F41/22C21D1/04F27B14/16F27D3/12H01L43/08H01L43/12G11B5/39H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Futek Holdings, LLC
Futek Furnace Inc.
FFK, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Suèr, Steven Johannes London, Großbritannien

485

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Schwerpunkte

Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff)

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