Beschichtungsvorrichtung mit grossflächiger Anordnung von drehbaren Magnetronkathoden

EP1594153 Art B1 24. Februar 2010

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1594153
Aktenzeichen: EP04010696
Anmeldetag: 5. Mai 2004
Veröffentlichung: 24. Februar 2010
Erteilung: 24. Februar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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