Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Elektrodenplatte für eine Plasmaverarbeitungsvorrichtung und Elektrodenplattenherstellungsverfahren
EP1594161
Art B1
1. Mai 2013
Anmelder: OCTEC INC., TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1594161
- Aktenzeichen
- EP04707620
- Anmeldetag
- 3. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2013
- Erteilung
- 1. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H01L21/3065
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- OCTEC INC.
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Fachgebiete
Kanzlei
Gleiss Große Schrell und Partner mbB
Stuttgart, Deutschland
Stuttgarter Kanzlei, die Patentanwälte und Rechtsanwälte unter einem Dach vereint, registriert beim Deutschen Patent- und Markenamt sowie beim EUIPO in Alicante. Als Vertreter vor dem Einheitlichen Patentgericht zugelassen, mit Auslandsnetzwerken unter dem Motto „Your innovation is in good hands“.
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