Verfahren zur Analyse von Verunreinigungen in einem Prozessfluidstrom
EP1595132
Art B1
17. Januar 2007
Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1595132
- Aktenzeichen
- EP04713293
- Anmeldetag
- 20. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 17. Januar 2007
- Erteilung
- 17. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N1/22G01N1/34G01N33/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
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