Regelung der Plasma-Uniformität durch Formgebung der Gasverteiler-Löcher
EP1595974
Art A3
5. April 2006
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1595974
- Aktenzeichen
- EP05000831
- Anmeldetag
- 17. Januar 2005
- Veröffentlichung
- 5. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/505H01J37/32C23C16/455
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
751
Patente gesamt
31
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte