Bauteil für Filmbildungsvorrichtung und Verfahren zu Dessenreinigen

EP1595976 Art A1 16. November 2005

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1595976
Aktenzeichen
EP04712191
Anmeldetag
18. Februar 2004
Veröffentlichung
16. November 2005
Rechtsraum
EP
IPC
C23C30/00C23C14/00C23C16/44C23F1/00H01L21/205C23C14/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Einsel, Martin Braunschweig, Deutschland
354
Patente gesamt
34
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Verpackungs- & Fördertechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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