Membranventil für Vakuumevakuierungssystem
EP1596107
Art B1
23. Juli 2008
Anmelder: Fujikin Incorporated, Ohmi, Tadahiro, FUJIKIN INCORPORATED, OHMI, Tadahiro 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1596107
- Aktenzeichen
- EP04709325
- Anmeldetag
- 9. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2008
- Erteilung
- 23. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16K7/12F16K27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujikin Incorporated
Ohmi, Tadahiro
FUJIKIN INCORPORATED
OHMI, Tadahiro - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
Hector, Annabel Mary
London, Großbritannien
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