Verfahren zur Lebensdauererfassung von Verbindungsstrukturen des Submikrometerbereichs
EP1596210
Art A1
16. November 2005
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1596210
- Aktenzeichen
- EP04447117
- Anmeldetag
- 11. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 16. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R31/316
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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