Imersionsbelichtungsprozess-Benutzungs-Resistschutzfilmbildungsmaterial, Zusammengesetzter Film und Resistmusterbildungsverfahren

EP1596251 Art A1 16. November 2005

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1596251
Aktenzeichen: EP04713169
Anmeldetag: 20. Februar 2004
Veröffentlichung: 16. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/039H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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