Verfahren zum Einstellen der Differentiellen Auflösungsgeschwindigkeit der Fotoresistzusammensetzungen
EP1597629
Art A2
23. November 2005
Anmelder: Promerus, LLC, International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1597629
- Aktenzeichen
- EP04713722
- Anmeldetag
- 23. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 23. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039G03F7/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Promerus, LLC
International Business Machines Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Vertreten von
von Kreisler, Alek, Dipl.-Chem
Köln, Deutschland
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von Kreisler Selting Werner · Köln