Verfahren zum Ätzen Ferroelektrischer Bauelemente

EP1597754 Art A2 23. November 2005

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1597754
Aktenzeichen
EP04709397
Anmeldetag
9. Februar 2004
Veröffentlichung
23. November 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Kanzlei
Reddie & Grose LLP

Reddie & Grose wurde 1907 gegründet und ist neben London und Cambridge auch in München und Den Haag vertreten. Sie gilt laut Fachpresse als besonders versiert im Umgang mit komplexen technischen Fragestellungen vor EPA und UPC.

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