Relaxation einer Dünnschicht bei einer Hohen Temperatur nach Ihrem Transfer
EP1597759
Art A1
23. November 2005
Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1597759
- Aktenzeichen
- EP04715982
- Anmeldetag
- 1. März 2004
- Veröffentlichung
- 23. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/763H01L21/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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Fachgebiete
Vertreten von
Collin, Jérôme
Paris, Frankreich
478
Patente gesamt
32
Fachgebiete
21
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Schwerpunkte
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-
Regimbeau
Regimbeau · Rennes