Verfahren zur Herstellung einer Dreidimensionalen Mikrostruktur durch Fib-Cvd und Ziehsystem für eine Dreidimensionale Mikrostruktur
EP1598312
Art A1
23. November 2005
Anmelder: SII NanoTechnology Inc., Matsui, Shinji, Japan Science and Technology Agency 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1598312
- Aktenzeichen
- EP04711478
- Anmeldetag
- 16. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 23. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00B82B3/00H01J37/317C23C16/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SII NanoTechnology Inc.
Matsui, Shinji
Japan Science and Technology Agency - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Japan Science and Technology Agency
Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.
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Vertreten von
Hoarton, Lloyd Douglas Charles
München, Deutschland
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