Shearing-Interferometer mit dynamischem pupillenfüllen

EP1598648 Art A3 23. Juli 2008

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1598648
Aktenzeichen
EP05010342
Anmeldetag
12. Mai 2005
Veröffentlichung
23. Juli 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G01J9/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen