Optische Komponente mit gekrümmter Oberfläche und Mehrlagenbeschichtung
EP1598681
Art A3
1. März 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1598681
- Aktenzeichen
- EP05008873
- Anmeldetag
- 22. April 2005
- Veröffentlichung
- 1. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B1/11G02B1/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Muschik, Thomas
Stuttgart, Deutschland
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