Verfahren und Vorrichtung zur Gesteuerten Herstellung von Öffnungen im Nanometerbereich

EP1599411 Art A1 30. November 2005

Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1599411
Aktenzeichen
EP04717903
Anmeldetag
5. März 2004
Veröffentlichung
30. November 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B81B1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Technische Universiteit Delft
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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