Optische Lithografie unter Benutzung Beider Fotomaskenoberflächen

EP1599762 Art A2 30. November 2005

Anmelder: The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University, THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1599762
Aktenzeichen
EP04709891
Anmeldetag
10. Februar 2004
Veröffentlichung
30. November 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University
THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University

Rechtsträger der US-amerikanischen Stanford University in Kalifornien, der als Anmelder der zahlreichen Patente aus der Universitätsforschung fungiert. Schwerpunkte liegen unter anderem in Biotechnologie, Informatik und Materialwissenschaften.

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