Herstellungsverfahren einer Mems Einrichtung

EP1599766 Art B1 8. Mai 2013

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, UNIVERSITE DE FRANCHE-COMTE, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1599766
Aktenzeichen
EP04717655
Anmeldetag
5. März 2004
Veröffentlichung
8. Mai 2013
Erteilung
8. Mai 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G04C3/12H02N1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
UNIVERSITE DE FRANCHE-COMTE
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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