Filtervorrichtung

EP1600199 Art A1 30. November 2005

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1600199
Aktenzeichen
EP04717304
Anmeldetag
4. März 2004
Veröffentlichung
30. November 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B01D35/30B01D29/96
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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