Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung von Mikrostrukturparametern von dünnen porösen Schichten

EP1600760 Art B1 28. Dezember 2016

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1600760
Aktenzeichen: EP05007352
Anmeldetag: 5. April 2005
Veröffentlichung: 28. Dezember 2016
Erteilung: 28. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01N15/08H01M8/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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