UV-Strahl-Generator, UV-Bestrahlungs-Vorrichtung und Vorrichtung zur Herstellung von Halbleitern
EP1601003
Art A3
6. September 2006
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, SEMICONDUCTOR PROCESS LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1601003
- Aktenzeichen
- EP05006546
- Anmeldetag
- 24. März 2005
- Veröffentlichung
- 6. September 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J61/34H01J61/52H01J61/50H01J61/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
SEMICONDUCTOR PROCESS LABORATORY CO., LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
3.785 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Marx, Lothar
München, Deutschland
69
Patente gesamt
26
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte