Inline-Verbindungseinrichtverfahren und Einrichtung und Substratverarbeitungseinrichtung und Substratverarbeitungssystem

EP1601007 Art A1 30. November 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1601007
Aktenzeichen: EP04716030
Anmeldetag: 1. März 2004
Veröffentlichung: 30. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027H01L21/68G03F7/20G03F7/16G06F13/10G06F13/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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