Verfahren zur Abscheidung von Silizium

EP1601813 Art B1 6. August 2008

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1601813
Aktenzeichen: EP04703337
Anmeldetag: 20. Januar 2004
Veröffentlichung: 6. August 2008
Erteilung: 6. August 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/24H01L31/18C23C16/505

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

1.138 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von